Спектроскопический эллипсометр SER 850 (серия SENresearch 4.0)
|
UV/VIS спектроскопический эллипсометр SER 850 (серии SENreserach 4.0) предназначен для измерения толщины и оптических характеристик массивных материалов, единичных и многослойных пленок, поверхностей раздела слоев, очень тонких и толстых пленок. SER 850 специально разработан для таких областей применения с высокими требованиями, как измерение тонких прозрачных пленок на стекле, светоизлучающих полимеров, полимерных полупроводников, многослойных стеков полупроводниковых материалов, а также таких передовых задач микроэлектроники, как анализ SOI, и др. Эллипсометр позволяет производить анализ анизотропных и неоднородных материалов. В спектроскопическом эллипсометре SER 850 реализованы две схемы проведения измерений: Поляризатор – Образец – Анализатор (PSA) и Поляризатор – Образец – Компенсатор – Анализатор, что гарантирует точное измерение угла поляризации и компенсации эффекта деполяризации, обусловленного неоднородностью образцов, неровностью поверхностей, ограничением спектрального разрешения, неточностью фокусировки. Применение супер-ахроматического компенсатора позволяет проводить измерение эллипсометрического угла в непрерывном диапазоне от 0° до 360° с непревзойденной точностью. Компенсатор стабилизирован от изменений температуры окружающей среды для обеспечения минимального дрейфа и минимальной ошибки измерения даже при Δ = 0°. Положение поляризатора регулируется компьютером и может быть задано в соответствии с оптическим откликом образца. Характеристики:
|