Электронный спектрометр SPECS

Предназначен для изучения электронной структуры, химического состава и химических связей сверхтонких поверхностных слоев и тонких пленок, наноструктур, порошков с послойным анализом.

Достигаемый рабочий вакуум - 5∙10^-10 Па.
Ширина на половине высоты РФЭС - пика Ag3d5/2 - до 0,82 эВ.
Локальность РФЭС анализа по поверхности - от 5 мм до 100 мкм,
Скорость счета – до 12∙10⁶ имп/с.
Диаметр ионного пучка - от 125 мкм до 1 мм.
Область сканирования ионным пучком - до 10 мм x 10 мм.
Энергия ионов Ar⁺ при травлении поверхности - 0,2кэВ - 5кэВ.

Спектрометр внесен в реестр средств измерений РФ: № 80884 от 03.03.2021