Растровая электронная микроскопия и микроанализ

Сканирующий электронный микроскоп Philips SEM-515
с рентгеновским микроанализатором Genesis 2000 XMS

Сканирующий электронный микроскоп Philips SEM-515 (Германия) с рентгеновским микроанализатором Genesis 2000 XMS, (Нидерланды)

Назначение: исследование топографии поверхности материалов, локального определения элементного состава, распределения элементов по поверхности объекта на микро- и наноуровне.

Характеристики

  • Диапазон ускоряющего напряжения: 3-30 кВ
  • Разрешающая способность: 5 нм
  • Увеличение: 10 – 160 000 крат
  • Перемещение образца:
    - наклон от -15° до +60°
    - по оси Z 22 мм
    - по оси X 20 мм
    - по оси Y 20 мм
  • Анализируемые элементы: от фтора до урана
  • Предел обнаружения: 0,2 масс.%
  • Предельная точность определения концентрации: ~ 5%
  • Пространственное разрешение при микроанализе: 1,0×1,0×5,0 мкм.